一文介紹ICP-MS三大機(jī)型產(chǎn)品矩陣深度解讀

一、公司背景：二十年深耕，鑄就國(guó)產(chǎn)質(zhì)譜前進(jìn)力量  

北京萊伯泰科儀器股份有限公司成立于2002年，是一家專業(yè)從事實(shí)驗(yàn)分析儀器的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的科技型企業(yè)。自成立以來(lái)，公司始終聚焦環(huán)境檢測(cè)、半導(dǎo)體分析、生命科學(xué)等國(guó)家重點(diǎn)領(lǐng)域，構(gòu)建了從樣品前處理到智能檢測(cè)的全鏈條解決方案。截至目前，萊伯泰科產(chǎn)品已服務(wù)全球90多個(gè)國(guó)家和地區(qū)，累計(jì)服務(wù)3萬(wàn)余家客戶。  

在電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）領(lǐng)域，萊伯泰科憑借在分析儀器設(shè)備領(lǐng)域二十年的積淀，推出了電感耦合等離子體質(zhì)譜儀LabMS3000ICP-MS，正式進(jìn)軍半導(dǎo)體、生命科學(xué)、新能源以及各傳統(tǒng)行業(yè)。2021年5月20日，萊伯泰科憑借自研ICP-MS——LabMS3000成功“破圈”，直指半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用，打破了該領(lǐng)域長(zhǎng)期被進(jìn)口品牌壟斷的僵局。從2021年的LabMS3000到2026年的全鏈智造系統(tǒng)，萊伯泰科用五年時(shí)間完成了從追隨到品牌躍遷。  

二、產(chǎn)品矩陣：三大主力機(jī)型，覆蓋多元應(yīng)用場(chǎng)景  

萊伯泰科目前已形成三大自研ICP-MS機(jī)型矩陣：LabMS3000（單四極桿通用型）、LabMS3300（高鹽基體專用型）和LabMS5000（三重四極桿串聯(lián)質(zhì)譜旗艦型）。  

（一）LabMS3000——開疆拓土的先鋒之作  

LabMS3000是萊伯泰科自主研發(fā)的高性能單四極桿電感耦合等離子體質(zhì)譜儀。該產(chǎn)品采用工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)27.12MHz全固態(tài)RF發(fā)生器，具有高的穩(wěn)定性，冷、熱等離子體可快速穩(wěn)定切換，確保儀器24小時(shí)不間斷安全穩(wěn)定運(yùn)行以及檢測(cè)數(shù)據(jù)的可靠性。  

在抗干擾能力方面，LabMS3000采用新一代六極桿碰撞/反應(yīng)池技術(shù)，使用單一高純氦氣即可有效消除多原子離子等質(zhì)譜干擾，無(wú)需氣體切換和模式切換，極大節(jié)約了分析時(shí)間。其檢測(cè)器采用脈沖、模擬雙模式同時(shí)型電子倍增器，可在一次運(yùn)行中實(shí)現(xiàn)常量元素（數(shù)百或數(shù)千ppm）與痕量元素（ppt或亞ppt級(jí)）的直接分析。  

LabMS3000憑借優(yōu)良的性能、穩(wěn)定的品質(zhì)以及出色的市場(chǎng)口碑，榮獲“國(guó)產(chǎn)好儀器”稱號(hào)。它先實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)ICP-MS在半導(dǎo)體頭部企業(yè)芯片生產(chǎn)線端的驗(yàn)證與應(yīng)用。  

（二）LabMS3300——直面復(fù)雜基體的升級(jí)之作  

全新升級(jí)的LabMS3300ICP-MS不僅延續(xù)了萊伯泰科明星產(chǎn)品的穩(wěn)定性，更在檢測(cè)靈敏度與可靠性上實(shí)現(xiàn)了質(zhì)的飛躍。它集成了多項(xiàng)針對(duì)性創(chuàng)新技術(shù)，直面高基體、復(fù)雜樣品分析時(shí)的各種硬核挑戰(zhàn)。  

其核心技術(shù)包括：快速匹配離子源，為分析各種復(fù)雜基體時(shí)提供穩(wěn)定可靠的離子化效率；氬氣在線稀釋與氬氣加濕技術(shù)，在樣品引入端即可自動(dòng)將高鹽基體稀釋至錐口耐受范圍，保證大批量樣品連續(xù)運(yùn)行的信號(hào)穩(wěn)定性；三重離子提取技術(shù)，在有效提高待測(cè)元素靈敏度的同時(shí)改善離子聚焦、降低基體效應(yīng)；新一代碰撞反應(yīng)池技術(shù)，高效消除高基體帶來(lái)的復(fù)雜多原子離子干擾，即使在超高TDS條件下，As、Se、Cd等關(guān)鍵毒理元素仍可獲得亞ppt級(jí)的檢出能力。  

（三）LabMS5000——國(guó)產(chǎn)三重四極桿的旗艦

LabMS5000是萊伯泰科在獲得用戶廣泛贊譽(yù)的LabMS3000基礎(chǔ)上推出的全新一代三重四極桿串聯(lián)質(zhì)譜儀（ICP-MS/MS）。該產(chǎn)品具有單四極桿和串聯(lián)四極桿兩種工作模式，可根據(jù)不同應(yīng)用需求靈活選擇。  

核心技術(shù)指標(biāo)方面：背景噪音在4.5amu、5amu或220amu處均低于0.2cps；質(zhì)量范圍覆蓋1-295amu。LabMS5000采用MS/MS模式實(shí)現(xiàn)受控且可靠的干擾去除，精準(zhǔn)去除質(zhì)量干擾離子，從而獲得更低的檢出限和準(zhǔn)確的超痕量分析結(jié)果。  

該產(chǎn)品通過(guò)了國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)的SEMIS2認(rèn)證，這是國(guó)產(chǎn)ICP-MS在國(guó)際半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域獲得的重要認(rèn)可。2025年，LabMS5000入選北京市重大技術(shù)裝備目錄，標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)ICP-MS在重大技術(shù)裝備領(lǐng)域的又一重要突破。憑借的技術(shù)性能，LabMS5000已成功進(jìn)入我國(guó)多家芯片、光伏和面板頭部生產(chǎn)企業(yè)，被廣泛應(yīng)用于硅材料、電子濕化學(xué)品、光刻膠、高純PFA、CMP拋光液以及化合物半導(dǎo)體等多個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)。  
 

三、核心技術(shù)：自主創(chuàng)新的硬核實(shí)力  

（一）射頻發(fā)生器系統(tǒng)  

萊伯泰科ICP-MS全系列采用工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)27.12MHz全固態(tài)射頻發(fā)生器。該發(fā)生器功率在500W至1600W范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，功率波動(dòng)小于±0.1%。支持常溫1600W常規(guī)模式和500W冷等離子體模式，后者特別適合高純材料及堿金屬的超低含量檢測(cè)。全固態(tài)設(shè)計(jì)帶來(lái)了高的系統(tǒng)穩(wěn)定性和可靠性，確保儀器可以長(zhǎng)時(shí)間不間斷安全運(yùn)行。  

（二）干擾去除技術(shù)  

從LabMS3000的六極桿碰撞/反應(yīng)池技術(shù)，到LabMS5000的串聯(lián)四極桿MS/MS模式，萊伯泰科構(gòu)建了層次化的干擾去除技術(shù)體系。MS/MS模式能夠?qū)崿F(xiàn)受控且可靠的干擾去除，精準(zhǔn)去除質(zhì)量干擾離子，可有效去除多原子和雙電荷干擾，準(zhǔn)確測(cè)試復(fù)雜基體樣品中痕量元素的含量。在地質(zhì)與礦產(chǎn)領(lǐng)域，LabMS5000可使用“化學(xué)分離”來(lái)解決同質(zhì)異位素干擾，直接分離同質(zhì)異位素重疊（如²??Hg與²??Pb、??Rb與??Sr等）。  

（三）智能軟件平臺(tái)  

萊伯泰科自主研發(fā)的HiMass智能工作站，采用一鍵式、向?qū)?、模塊化設(shè)計(jì)，界面簡(jiǎn)潔直觀，易學(xué)易用。該軟件平臺(tái)具備一鍵自動(dòng)調(diào)諧、方法向?qū)Ш蛿?shù)據(jù)分析工具等功能，讓復(fù)雜分析變得簡(jiǎn)單高效。  

（四）安全防護(hù)與可靠性  

萊伯泰科ICP-MS產(chǎn)品擁有可靠的安全配置，包括EMO（緊急停止）及Interlock（聯(lián)鎖）等。LabMS5000更是通過(guò)了SEMIS2認(rèn)證，多達(dá)十重安全防護(hù)配置，帶來(lái)全面可靠的安全防護(hù)，保證儀器長(zhǎng)時(shí)間安全可靠運(yùn)行。  

四、應(yīng)用領(lǐng)域：從環(huán)境監(jiān)測(cè)到半導(dǎo)體制造  

萊伯泰科ICP-MS系列產(chǎn)品的應(yīng)用覆蓋多個(gè)重要行業(yè)領(lǐng)域。  

環(huán)境領(lǐng)域：可用于地下水、地表水、海水、廢水、飲用水、土壤、固廢樣品、空氣和廢氣等環(huán)境樣品中各類元素分析。LabMS3300可滿足HJ700-2014《水質(zhì)65種元素的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》等標(biāo)準(zhǔn)要求。  

食品領(lǐng)域：可用于各類食品中多元素分析及質(zhì)量控制，滿足GB5009.268等多項(xiàng)食品安全國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。LabMS5000可有效去除多原子和雙電荷干擾，準(zhǔn)確測(cè)試所有食品樣品中痕量的砷、硒以及其他元素。  

制藥領(lǐng)域：用于中藥材、化學(xué)藥、藥用輔料中重金屬及元素雜質(zhì)測(cè)定。MS/MS模式可有效消除中藥材等復(fù)雜基體帶來(lái)的質(zhì)譜干擾。  

醫(yī)療領(lǐng)域：用于血液、尿液、毛發(fā)等生物樣品中常量元素、微量營(yíng)養(yǎng)元素、重金屬的檢測(cè)以及人體藥物濃度監(jiān)測(cè)。LabMS5000的反應(yīng)模式還可精準(zhǔn)測(cè)量蛋白質(zhì)中的S、P元素含量。  

半導(dǎo)體領(lǐng)域：可用于超純水、濕電子化學(xué)品、電子特氣、硅片、多晶硅、光刻膠等雜質(zhì)元素檢測(cè)。LabMS5000憑借高靈敏度、低檢測(cè)限及優(yōu)異的抗干擾能力，可精準(zhǔn)檢測(cè)濕電子化學(xué)品中痕量金屬雜質(zhì)。  

此外，產(chǎn)品還廣泛應(yīng)用于疾控衛(wèi)生、地質(zhì)與礦產(chǎn)、公安司法、材料科學(xué)、能源與化工等領(lǐng)域。  

五、從單品到全鏈：智能化全流程解決方案  

2026年5月20日，萊伯泰科發(fā)布了年度核心創(chuàng)新成果——EvoLab智能化全流程元素分析系統(tǒng)。該系統(tǒng)集成了超級(jí)微波消解儀、液體定容稀釋進(jìn)樣系統(tǒng)和全新一代ICP-MS（LabMS3300），真正實(shí)現(xiàn)了從稱樣、加酸到消解，再到最終上機(jī)檢測(cè)的全流程閉環(huán)自動(dòng)化。

六、國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程與市場(chǎng)展望  

萊伯泰科ICP-MS系列產(chǎn)品目前已廣泛應(yīng)用于環(huán)保、疾控、海關(guān)商檢、半導(dǎo)體、醫(yī)療、大學(xué)院校等行業(yè)。2025年度，公司電感耦合等離子體質(zhì)譜儀系列產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)銷售收入約3220萬(wàn)元，占公司營(yíng)業(yè)收入的8.03%。  

在半導(dǎo)體這一應(yīng)用領(lǐng)域，進(jìn)口品牌目前仍處于主導(dǎo)地位，客戶對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備普遍持審慎態(tài)度，驗(yàn)證周期較長(zhǎng)。萊伯泰科正憑借“場(chǎng)景驅(qū)動(dòng)創(chuàng)新”的戰(zhàn)略，圍繞半導(dǎo)體材料在線檢測(cè)等新興領(lǐng)域，開發(fā)高度適配本土需求的定制化儀器設(shè)備。公司目前已與多家半導(dǎo)體企業(yè)建立深度合作。  

在核心零部件方面，萊伯泰科質(zhì)譜儀產(chǎn)品的核心零部件主要通過(guò)外部采購(gòu)或外協(xié)加工兩種方式獲取，其中真空泵、檢測(cè)器通過(guò)進(jìn)口采購(gòu)，離子源、控制系統(tǒng)等由公司自主研發(fā)設(shè)計(jì)，四極桿委托國(guó)內(nèi)上游廠商加工，軟件自主開發(fā)。